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什么是光刻机?光刻机有什么作用

发布日期:2023-04-24 发布者:合明科技 浏览次数:3732

光刻技术与我们的生活息息相关,我们用的手机,电脑等各种各样的电子产品,里面的芯片制作离不开光刻技术。如今的世界是一个信息社会,各种各样的信息流在世界流动。而光刻机是保证制造承载信息的载体。在社会上拥有不可替代的作用。

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光刻机的作用:

光刻是集成电路最重要的加工工艺。光刻技术跟照相技术差不多,照相是将镜头里的图画“印”到底片上,而光刻是将电路图和电子元件“刻”到“底片”上。在光刻工艺中,通常以涂满光敏胶的硅片作为“底片”,电路图案经光刻机,缩微投射到“底片”上。制造芯片,要重复几十遍这个过程。这就是光刻机的作用,类似照相机照相。照相机拍摄的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是电路图和其他电子元件。

光刻机的技术原理:

光刻机就是把芯片制作所需要的线路与功能区做出来。利用光刻机发出的光,通过具有图形的光罩,对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而使光罩上得图形复印到薄片上,薄片上电子线路图随之显现。光刻机技术是一种精密的微细加工技术。常规光刻技术是采用波长为2000~4500埃的紫外光作为图像信息载体,以光致抗光刻技术蚀剂为中间(图像记录)媒介实现图形的变换、转移和处理,然后把图像信息传递到晶片(主要指硅片)或介质层上的一种工艺。

在芯片加工过程中,光刻是其中一个重要的步骤,甚至被认为是集成电路制造中最为关键的步骤,决定着制造工艺的先进程度,因此电子行业生产离不开光刻机。

光刻技术的精细度,直接决定了元器件、电路等在芯片上所占的体积。因而,光刻是决定芯片能否按照摩尔定律继续发展的一项重要技术,如果没有光刻技术的进步,芯片制造工艺就不可能从微米进入深亚微米再进入纳米时代。

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以上为本公司一些经验的累积,因工艺问题内容广泛,没有面面俱到,只对常见问题作分析,随着电子产业的不断更新换代,新的工艺问题也不断出现,本公司自成立以来不断的追求产品的创新,做到与时俱进,熟悉各种生产复杂工艺,能为各种客户提供全方位的工艺、设备、材料的清洗解决方案支持。

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